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L系列

YUTAKA 压力调整器 L20系列-深圳市智盈迅科技有限公司

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L 系列

用于高纯度半导体制造工艺

  • 主要材料
  • 标准流量
  • 入口压力
  • 调节压力
  • 使用压力
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L20系列 RoHS指令对应产品

高压标准流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 60 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.99 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L25系列 RoHS指令对应产品

低压标准流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 20 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.99 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L21系列 RoHS指令对应产品

高压标准流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 20 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.99 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L26 系列

低压标准流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 20 NL/min
  • 0.99 MPa 2 MPa 6 MPa
  • 0.99 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器newnew

L36系列 RoHS指令对应产品

低压大流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 300 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.99 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L35系列 RoHS指令对应产品

低压中流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 100 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.9 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L61 系列

高压大流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 300 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L62 系列

针式高压大流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 300 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L81系列 RoHS指令对应产品

2段式标准流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 25 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.6 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L88 系列

2段式标准流量型

  • SUS316L
  • 25 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.99 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L96 系列

绝对压力型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 5 NL/min
  • 0.99 MPa
  • -0.1?0?0.2 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

LH1 系列

低压大流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 500 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

LH2 系列

低压大流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 500 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

LM1系列 RoHS指令对应产品

低压大流量型

  • SUS316L
  • 700 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

LM2系列 RoHS指令对应产品

针式低压大流量型

  • SUS316L
  • 700 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

LM2-D系列 RoHS指令对应产品

针式低压大流量型

  • SUS316L
  • 700 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

LL1系列

低压大流量型

  • SUS316L
  • 1000 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

LL2系列 RoHS指令对应产品

低压大流量型

  • SUS316L
  • 1500 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L18系列 RoHS指令对应产品

小型标准流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 20 NL/min
  • 0.99 MPa
  • 0.6 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器

L18H系列 RoHS指令对应产品

小型中流量型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 30 NL/min
  • 0.99 MPa
  • 0.7 MPa
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用于高纯度半导体制造工艺的精密压力调节器newnew

L12 系列

块类型

  • SUS316L，SUS+哈斯特洛伊 ®
  • 20 NL/min
  • 0.99 MPa
  • 0.7 MPa
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